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集成电路类型的无尘车间有哪些施工要求?

作者: 时间:2021-10-11 13:22:14点击:2909次

  想要知道满足集成电路类型的无尘车间又哪些施工要求,就要先明白什么是集成电路车间,顾名思义,集成电路无尘车间就是满足半导体制造工艺要求的无尘车间,并且该无尘车间对车间内环境的洁净度、湿度、温度、振动等都有着一定的要求,集成电路无尘车间相对比其他车间来说,面积更大、洁净度更高、温湿度控制要更精确。

  根据洁净室车间的空气循环特点,洁净室可分为高效送风系统循环空调、湿密封系统循环风机和FFU循环系统三种。

  第一种形式广泛用于小型低级洁净车间的设计,但对于大面积、高级洁净车间,存在运行成本高、空间大等缺点。

  第二种设计可以满足集成电路制造洁净室大面积、高层次的要求,但运行成本较高,且洁净室风速和风量难以调节。系统升级难度大,操作灵活性低。

  第三类FFU循环系统不仅节省操作空间,而且清洁度、安全性和操作成本低,操作灵活性高。系统可随时升级调整,不影响生产。为满足半导体制造的需求,FFU循环系统日益成为半导体制造行业最重要的精炼设计解决方案。

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  FFU循环系统的特点包括:整个洁净室由静压床、工艺床、工艺辅助层和回风道组成。 FFU 为空气循环提供动力。新鲜空气和循环空气混合通过超高效过滤器送入工艺流,床层和工艺辅助层的正压层与工艺床层相比为负压。还有电源、气化、超纯水供应等集成电路制造设施的辅助生产区。

  集成电路制造对控制无尘工作环境有更严格的要求。例如,光刻需要1 级微环境,而化学机械抛光只需要1000 级环境。

  此外,集成电路制造洁净室对噪声、微振动和照度,尤其是振动控制,都有相关的规定和要求,这对洁净室的建筑结构设计至关重要。

  良好的洁净工作场所设计可以节约能源、降低成本、减少人力投入,为生产提供安全可靠的保障。三种清洗系统中,FFU循环系统运行成本最低,清洗安全性最高,所以大部分集成电路清洗厂都使用FFU循环系统。洁净度要求越高,温湿度控制精度越高,洁净室投资和运行成本越高,因此当环境洁净度或温湿度要求较低时,必须部署一些关键工艺设备。高标准、洁净度或温湿度控制领域是IC制造洁净车间的设计趋势。

  集成电路制造属于耗能行业,清洁空调系统能耗占30%以上,因此节能安全的洁净室设计和各种热回收设计将是未来的发展方向。

  现在集成电路制造发展的越来越快,集成电路的技术也在不断地升级,很多主流的大厂都已经开始进入纳米技术,这就要求集成电路制造洁净车间的设计、建设和节能创新也必须不断完善,这样才能确保能生产出高端产品。