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无尘车间为什么要控制温湿度

作者: 时间:2021-06-01 09:45:06点击:858次

  无尘车间的温湿度主要是根据加工工艺要求来确定,在可以满足加工工艺的条件下,首选应该考虑的就是人的舒适感。随着空气洁净度要求的不断提高,工艺对温度、湿度的要求也随之越来越高,所以必须达到一定的温湿度等级。

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  例如在大规模集成电路生产光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。24um线性膨胀,所以必须有±0。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。