单向流洁净室主要分为水平单向流洁净室、垂直单向流洁净室。顶棚满布高效过滤器来送风，全地板格栅回风，这是一种典型的垂直单向流洁净室，可获得均匀的向下单相平行气流，因而自净能力强，并且能够达到最高的洁净度级别，不仅工艺的设备可以任意布置，而且可简化人身净化措施;但是顶棚结构较复杂，造价和维护费用比较高，高效过滤器堵漏比较困难。垂直单向流还有侧布高效过滤器顶棚阻尼层送风，全地板格栅回风;顶棚和侧面双布高效过滤器送风，全地板格栅回风;全顶棚高效过滤器送风，两侧下回风;全顶棚高效过滤器送风单元送风，地板或两侧下部回风。
送风墙布满高效过滤器水平送风，全墙面回风是典型的水平单向流洁净室，回风墙一般安装中效过滤器;这种洁净室只在第一工作区达到最高洁净度，当空气向另一侧流动时，含尘浓度逐渐增高，适用于工艺过程有多种洁净度要求的情况，显然造价较垂直单向流洁净室低很多。“隧道”式单向流洁净室，在布置高效过滤器的送风墙的对面没有回风墙，是向外敞开的;没有管路循环空气，而将内部空气向周围环境排出;在这种形式中，不能用把压力提高得比周围环境高的方法防止和排除污染，而是靠空气的速度防止污染的侵入;这种形式内部的温湿度宜与环境温湿度相同;单向流隧道的送风方式，是单向流洁净室中最便宜的而且便于移动，尤其适合一些大型设备的装配或临时检修时采用。中净环球净化可提供洁净室的咨询、规划、设计、施工、装修改造等配套服务。
在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的;在设计上一定要减小过滤器边框处所占的无效面积，更要设法使空间的壁面尽量接近过滤器有效送风截面。
