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无尘室操作时的一般规定

作者: 时间:2021-06-17 10:33:01点击:469次

  1.处理芯片时,必须要戴上无纤维的手套,使用干净的镊子挟持芯片,请不要以手指或其它任何东西接触芯片,遭碰触被污染过的芯片必须经清洗,才可以继续使用:

  (1)即挟持芯片端如被碰触过,或是镊子不小心掉落地上,必须要去清洗不能用纸巾或布擦拭脏镊子。

  (2)芯片清洗之后要进行下一程序前,若不小心用手指碰触过,必须重新去清洗。

  (3)把芯片放置在石英舟上,准备进炉管时,若发现所用的镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染,必须将芯片重新去清洗,并立即更换干净的镊子使用。

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  2.芯片必须要放置盒中,盖起来把它存放于规定位置,避免让它暴露。

  3.禁止在芯片上谈话,防止唾液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,应特别注意,防止上述动作产生,若芯片上沾有纤维屑时,用氮气枪喷之。

  4.从铁弗龙(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等载具(Carrier)上,取出芯片时,必须垂直向上挟起,避免刮伤芯片,显微镜镜头确已离芯片,方可从吸座上移走芯片。

  5.芯片上,若已长上氧化层,在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

  6.操作时,不论是否戴上手套,手绝不能放进清洗水槽。

  7.使用化学站或烤箱处理芯片时,务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内,不可使用塑料盒。

  8.摆置芯片于石英舟时,若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片,然后再进氧化炉。

  9.请勿触摸芯片盒内部,如被碰触或有碎芯片污染,必须重作清洗。

  10.手套,废纸及其它杂碎东西,请勿留置于操作台,手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。

  11.非经指示,绝不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

  12.奇怪的味道或反应异常的溶液,颜色,声响等请即通知相关人员。

  13.仪器因操作错误而有任何损坏时,务必立刻告知负责人员或老师。

  14.芯片盒进出无尘室须保持干净,并以保鲜膜封装,违者不得进入。

  15.无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录,一般纸张与铅笔不得携入。